ガス選択性改善のためのマイクロチャネル形ガスセンサの研究

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-127

グループ名: 【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集

発行日: 2002/03/26

タイトル(英語): Development of a gas sensor with a micro-channel for gas selectivity improvement

著者名: 伊藤彰人 (東京電機大学),原 和裕(東京電機大学)

著者名(英語): Akihito Ito(Tokyo Denki University),Kazuhiro Hara(Tokyo Denki University)

キーワード: ガスセンサ|マイクロチャネル|マイクロマシーニング|酸化第二鉄|酸化錫

要約(日本語): 現在、半導体薄膜ガスセンサの開発は盛んに行われており、高感度なガスセンサの開発が実現されつつある。しかし、高選択性のガスセンサは、開発途上であり、現状ではガスクロマトグラフィー法のような大型装置に限られてくる。一般に、NOとNO2のように共存するガスを選択的に検知することは困難であるが、NOガスは麻酔用として従来から使用されているために、NOだけを選択的に検知するセンサが医療方面から切望されている。ここで報告するマイクロチャネル形ガスセンサは、IC技術によりセンサ基板上にマイクロチャネルを作製し、そのチャネル内に薄膜ガスセンサを作製した。ガスをチャネル内に通過させ、センサに到達させることにより、選択性を向上させることに成功した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 208 Kバイト