自己組織化チオール膜を用いた150MHz帯QCMガスセンサの研究

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-128

グループ名: 【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集

発行日: 2002/03/26

タイトル(英語): Study of 150MHz QCM Gas Sensor Coated with Self-assembled Thiol Film

著者名: 鈴木 洋子(東京工業大学),中本 高道(東京工業大学),森泉 豊栄(東京工業大学),斎藤 敦史(芝浦工業大学)

著者名(英語): Yohko Suzuki(Tokyo Institute of Technology),Takamichi Nakamoto(Tokyo Institute of Technology),Toyosaka Moriizumi(Tokyo Institute of Technology),Atsushi Saitoh(Shibaura Institute of Technology)

キーワード: 匂いセンサ|VHF水晶振動子|自己組織化膜|QCMガスセンサ

要約(日本語): 近年、水晶板の振動子電極下を部分的にエッチングで薄くする技術により、V/UHF帯振動子を製作することが可能となった。周波数が高い振動子を用いることで感度の向上が期待できる。そこで、金電極に緻密な薄膜を安定に形成することができる自己組織化チオール膜を158MHz振動子に塗布し、匂いセンサに応用した。水晶振動子は恒温槽中に設置し、拡散法により一定濃度の匂いサンプルを供給した際のセンサ応答を測定した。ヘキサノール、酢酸nアミル、オクタンについて測定した結果、数百ppbからppmオーダの検出が可能なことがわかった。さらに、測定温度を変えることによる感度向上についても調べた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 132 Kバイト