集積化半導体VOCセンサの高感度化

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-140

グループ名: 【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集

発行日: 2002/03/26

タイトル(英語): Improvement in VOC Sensitivity of Integrated Semiconductor Gas Sensors

著者名: 角崎 雅博(富山県工業技術センタ-),谷野 克巳(富山県工業技術センタ-),龍山 智榮(富山大学)

著者名(英語): Masahiro Kadosaki(Toyama Industrial Technology Center),Katsumi Tanino(Toyama Industrial Technology Center),Tiei Tatsuyama(Toyama University)

キーワード: ガスセンサ|酸化物半導体|VOC|シックハウス症候群|ホルムアルデヒド|トルエン

要約(日本語): これまで、6種類の酸化物半導体を用いた集積化VOCセンサを用いることにより、17種類の100ppmVOCに対してガス識別を行った結果、その識別に有効であることを報告してきた。本報告では、上記6種類のうちn型半導体4種類（WO3、ZnO、In2O3、SnO2）を用いて、高感度タイプの集積化VOCセンサを試作し、1ppm濃度におけるセンサの評価を行ったのでその結果を報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 131 Kバイト