大変位静電マイクロアクチュエータ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-144

グループ名: 【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集

発行日: 2002/03/26

タイトル(英語): Electrostatic Microactuator of Large Displacement

著者名: 三田 信(東京大学),年吉 洋(東京大学),藤田 博之(東京大学)

著者名(英語): Makoto Mita(IIS.,the University of Tokyo),Hiroshi Toshiyoshi(IIS.,the University of Tokyo),Hiroyuki Fujita(IIS.,the University of Tokyo)

キーワード: マイクロマシン|リンク機構|静電アクチュエータ|mics

要約(日本語): MICSを用いて大変位を実現するマイクロアクチュエータを作製した。反りあがった構造にヒンジによりリンク機構を接続し、上下動作を平面内での前後方向の動きに変えることで、数十から百数十ミクロンの変位を得ることができる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 150 Kバイト