2次元静電インパクトマイクロアクチュエータ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-145

グループ名: 【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集

発行日: 2002/03/26

タイトル(英語): 2 Dimensional Electrostatic Impact Microactuator

著者名: 佐藤 憲(東京電機大学),三田 信(東京大学),小林 大(東京電機大学),藤田 博之(東京大学)

著者名(英語): Ken Sato(Tokyo Denki University),Makoto Mita(Institute of Industrial Science,The University of Tokyo),Kobayashi Dai(Tokyo Denki University),Hiroyuki Fujita(Institute of Industrial Science,The University of Tokyo)

キーワード: マイクロマシン|インパクト|アクチュエータ

要約(日本語): 2次元静電インパクトマイクロアクチュエータ単一のデバイスで2次元駆動が可能なインパクト型マイクロアクチュエータを設計し、製作した。このデバイスの大きさは 3mm x 3mm x 400um（縦 x 横 x 厚さ）である。基板接合技術とICP-RIEを用いて作製した。従来の研究ではシリコンとガラスを用いて作製したが本研究ではシリコンのみを用いて作製した。個々のデバイスに切り離す前に大気中で機械的特性の測定を行った。可動部の共振周波数は 380 [Hz]、駆動電圧は 50 [V] であった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 580 Kバイト