連鎖動作を用いた多段櫛歯型静電アクチュエータ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-146

グループ名: 【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集

発行日: 2002/03/26

タイトル(英語): CHAIN MOTION BY SERIAL COMB DRIVE ACTUATOR

著者名: 福枡恵一郎 (立命館大学),小西 聡(立命館大学)

著者名(英語): Keiichiro Fukumasu(Ritsumeikan University),Satoshi Konishi(Ritsumeikan University)

キーワード: 櫛歯型静電アクチュエータ|連鎖動作

要約(日本語): 静電アクチュエータを大変位させるためには高電圧入力が必要である。本研究では静電アクチュエータの中で一般的である櫛歯型静電アクチュエータの動作原理、製作、性能評価について言及する。本研究では多数の素子を直列多段に配置することで変位が増加する静電アクチュエータを考えている。本アクチュエータの各素子は連鎖的に電位の伝達が起こるため、電位の確定した素子には静電引力が働くため変位する。その結果、多段素子も静電引力を保持しながら変位するために最初に変位した素子の変位量が増加する原理となっている。本原理を用いると素子の増加に伴い変位量が増加するため、低電圧出力による大変位動作可能な静電アクチュエータの実現が期待できる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 285 Kバイト