鉛直動作マイクロアクチュエータ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-147

グループ名: 【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集

発行日: 2002/03/26

タイトル(英語): Vertical Motion Microactuator

著者名: 吉藤 健次(立命館大学),小西 聡(立命館大学)

著者名(英語): Kenji Yoshifuji(RitsumeiKan University),Satoshi Konishi(RitsumeiKan University)

キーワード: アクチュエータ|鉛直動作|大変位

要約(日本語): 鉛直変位型マイクロアクチュエータは、これまでにも数多くの試作例が報告されているが、鉛直変位がいずれも数ミクロンに限られ大変位の実現は困難であった。本研究では、圧電素子による微小変位と、静電引力による吸着力を組み合わせたECLIAの動作原理をアクチュエータの鉛直動作に適用することを考えている。SOI基板に駆動部及び可動部を組み込んだ設計及び製作を行い、鉛直方向に大変位を可能とするマイクロアクチュエータの実現に取り組んでいる。本稿では、鉛直動作マイクロアクチュエータに関する研究成果を報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 345 Kバイト