ハードディスクドライブ用静電駆動マイクロアクチュエータ-高アスペクト比シリコンエッチングによるアクチュエータの製作-

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-151

グループ名: 【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集

発行日: 2002/03/26

タイトル(英語): Electrostatic Micro Actuator for Hard Disk Drive Applications-Fabrication of Micro Actuator using Silicon Etching with High Aspect Ratio-

著者名: 飯塚 哲彦(東京大学),三田 信(東京大学),藤田 博之(東京大学)

著者名(英語): Tetsuhiko Iizuka(The University of Tokyo),Makoto Mita(The University of Tokyo),Hiroyuki Fujita(The University of Tokyo)

キーワード: ハードディスクドライブ|静電駆動|マイクロアクチュエータ|高密度記録|高アスペクト比

要約(日本語): ハードディスクドライブの記録密度や記録容量が年々急速に向上している。40kTPI以上のトラック記録密度に対応するために、リードライト磁気ヘッドの微細な位置決め性能が要求される。このような精密な位置決めを実現する1つの方法として、2段型のサーボアクチュエータがある。スライダーとヘッドに間にマイクロアクチュエータを置き、磁気ヘッド素子の微動位置決めをする方式を開発している。シリコン基板を用いるマイクロマシーニング、特にICP-RIEによるトレンチエッチングを用いて、静電マイクロアクチュエータを作り、駆動した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 595 Kバイト