ハードディスク磁気ヘッド駆動用シリコン静電マイクロアクチュエータ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-152

グループ名: 【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集

発行日: 2002/03/26

タイトル(英語): Electrostatic Silicon Microactuators for HDD Magnetic Head Drives

著者名: 年吉 洋(東京大学),三田 信(東京大学),藤田 博之(東京大学)

著者名(英語): Hiroshi Toshiyoshi(University of Tokyo),Makoto Mita(University of Tokyo),Hiroyuki Fujita(University of Tokyo)

キーワード: マイクロマシン|マイクロメカトロニクス|マイクロアクチュエータ|ハードディスクドライブ|磁気ヘッド|2段サーボ

要約(日本語): 磁気ディスクの記録密度は記録メディア材料の改良により，年100％程度の上昇率で増加している．磁気ヘッドのトラック位置決め装置の精度もそれに応じて向上する必要があるが，従来のボイスコイルモータによる方式ではサーボ帯域が狭く，25kTPI以上のトラック密度が望めない．本研究ではSOIシリコン基板の高アスペクト比ドライエッチングにより，2mm x 3mm x 0.6 mm の静電型マイクロアクチュエータを製作した（静電ギャップ3μm）．これにより，磁気ヘッドのヘッド素子のみを駆動することで，機械的共振周波数（16kHz）を改善した．直流駆動電圧50Vにおいて，±0.5μm程度のトラック位置決めが可能である．磁気ヘッドとアクチュエータをシリコン基板上にモノリシック集積化する方法についても提案する．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 187 Kバイト