高密度記録のためのスクラッチドライブアクチュエータを用いたXYθステージの開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-153

グループ名: 【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集

発行日: 2002/03/26

タイトル(英語): Development of XYθ Stage for High Density Memory Systems Using Scratch Drive Actuator

著者名: 金森 義明(東北大学),矢作 浩人(東北大学),佐々木 実(東北大学),羽根 一博(東北大学),小野 崇人(東北大学)

著者名(英語): Yoshiaki Kanamori(Tohoku University),Hiroto Yahagi(Tohoku University),Minoru Sasaki(Tohoku University),Kazuhiro Hane(Tohoku University),Takahito Ono(Tohoku University)

キーワード: アクチュエータ|高密度記録|XYθ　ステージ

要約(日本語): 近年の記録密度の向上に伴い、次世代高密度記録システムの開発が注目されている。システムの実現のためにはナノメートルスケールの精密なトラッキングや位置決め精度が可能なトラッキングシステムやステージの開発が欠かせない。我々は、駆動範囲が広く、位置分解能が高いスクラッチドライブアクチュエータアレイを用いたステージ搬送機構を製作した。本アクチュエータアレイはXYθの3軸方向の動作が可能である。本報告では試作したアクチュエータの設計、製作、特性について報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 257 Kバイト