ニュースバルLIGA用ビームラインのビームプロファイル測定システムの開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-155

グループ名: 【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集

発行日: 2002/03/26

タイトル(英語): Developing a beam profile measurement system of the NewSUBARU beam line for LIGA

著者名: 大松 和弘(姫路工業大学),佐藤一道 (姫路工業大学),新居 学(姫路工業大学),坂上 仁志(姫路工業大学),高橋 豐(姫路工業大学),銘苅春隆 (姫路工業大学),内海 裕一(姫路工業大学),服部 正(姫路工業大学)

著者名(英語): Kazuhiro Ohmatsu(Laboratory of Advanced Science and Technology for Industry,Himeji Institute of Technology),Kazumichi Sato(Laboratory of Advanced Science and Technology for Industry,Himeji Institute of Technology),Manabu Nii(Laboratory of Advanced Science and Technology for Industry,Himeji Institute of Technology),Hitoshi Sakagasmi(Laboratory of Advanced Science and Technology for Industry,Himeji Institute of Technology),Yutaka Takahashi(Laboratory of Advanced Science and Technology for Industry,Himeji Institute of Technology),Harutaka Mekaru(Laboratory of Advanced Science and Technology for Industry,Himeji Institute of Technology),Yuichi Utsumi(Laboratory of Advanced Science and Technology for Industry,Himeji Institute of Technology),Tadashi Hattori(Laboratory of Advanced Science and Technology for Industry,Himeji Institute of Technology)

キーワード: マイクロシステム|放射光|LIGA|マイクロマシニング|マイクロマシン|計測・制御

要約(日本語): ニュースバルのLIGAビームラインBL-11では，露光に先立ってビームアライメント作業によりミラーを調整する必要がある．このため，ビームの形状や強度分布等のビームプロファイルを知る必要がある．今回，ビームライン途中に乱反射板を組み込み，放射光が乱反射板に当たって発生する可視光をCCDカメラで観察できるようにし，その撮像画像をPCに取り込みアプリケーションで視角補正処理を行った．撮像画像を基に補正することでビームライン上のビーム形状を得ると共に，各ピクセル値より強度分布プロファイルを得ることが可能となるシステムを開発した．その結果，ビームプロファイルを確認しながらビームアライメント作業を行うことが可能になった．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 266 Kバイト