ホットエンボッシングによるプラスチックマイクロ構造体の作製

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-157

グループ名: 【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集

発行日: 2002/03/26

タイトル(英語): Microfabrication of polymer microstructures using hot embossing

著者名: 山田隆史(姫路工業大学),銘苅春隆(姫路工業大学),北島明子(産業技術総合研究所),石垣博行(姫路工業大学),前田龍太郎(産業技術総合研究所),服部正(姫路工業大学)

著者名(英語): Takashi Yamada(Laboratory and Advanced Science and Technology for Industry,Himeji Institute of Technology),Harutaka Mekaru(Laboratory and Advanced Science and Technology for Industry,Himeji Institute of Technology),Akiko Kitajima(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology),Hiroyuki Isigaki(Faculty of engineering,Himeji In)

キーワード: ホットエンボッシング|微細加工|LIGA

要約(日本語): 現在LIGAプロセスは新しい微細加工技術として注目を集めている. LIGAプロセスにおける成形工程は超微細な構造体を高い効率で量産するための重要な技術である. 成形は大きく2つの方法に分けられ,一つは射出成形であり, もう一つはホットエンボッシングである.本研究ではホットエンボッシング法によりマイクロ構造体の作製実験を行った.実験に使用した金型は,放射光によるリソグラフィーで加工したPMMAレジストパターンにニッケルめっきを施し作製したものである.また,樹脂材料はPMMAとPCを使用した.実験の結果,200 μm角,アスペクト比0.5及び40 μm角,アスペクト比2.5のマイクロ構造体の成形に成功した.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 463 Kバイト