半導体マイクロマシン技術を用いたSTM探針の製作とその評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-159

グループ名: 【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集

発行日: 2002/03/26

タイトル(英語): Estimation and Production of Micromachined STM tip

著者名: 河原 宏昭(東京大学),三田 信(東京大学),藤田 博之(東京大学)

著者名(英語): Hiroaki Kawara(University of Tokyou),Makoto Mita(University of Tokyou),Hiroyuki Fujita(University of Tokyou)

キーワード: マイクロマシンニング|STM探針

要約(日本語): 半導体マイクロマシニング技術を利用して、Siウェハー上に STM用の探針の製作を試みた。このSTM用の探針は、通常の半導体加工技術のほかにICP-RIE を用いて、裏面から可動部（静電型櫛歯型アクチュエーター部、カンチレバーとアクチュエーター部を支えるばね）を掘りぬいてある。そのため、試料表面の観察に用いられているSi、タングステン等の材料から作成された通常のSTM用の探針とは、バネ定数等の特性が、著しく異なる。今発表においては、STM用の探針の製作手順の詳細と特性の評価を発表する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 632 Kバイト