微粒子分散膜を用いた微細加工技術

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-161

グループ名: 【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集

発行日: 2002/03/26

タイトル(英語): Micro-machining of Nano-sized particle dispersed film

著者名: 柳生裕聖 (三ツ星ベルト),林 茂彦(三ツ星ベルト)

著者名(英語): Hiromasa Yagyu(Mitsuboshi Belting Ltd.),Shigehiko Hayashi(Mitsuboshi Belting Ltd.)

キーワード: 微粒子|レーザ加工

要約(日本語): 当社では金微粒子をエチルセルロースに分散した材料に出力が数十mWの可視光レーザを集光照射することにより，μmオーダーで高アスペクト比な溝や穴加工が可能なことを確認しており，この加工技術を用いてPDMS製転写型や樹脂製レプリカの作製方法を提案している．しかし加工部周辺に隆起が生じ利用できる用途が限定されるため加工後の形状を改良する必要がある．今回はナノ粒子を分散させるマトリクス材としてポリアミド酸を用いることで加工後の形状が改良できたのでその内容を報告する．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 246 Kバイト