非平面フォトファブリケーションによる形状記憶合金パイプからのアクチュエータ作製

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-162

グループ名: 【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集

発行日: 2002/03/26

タイトル(英語): Non-planer Photo-fabrication of an Actuator-unit from a Shape Memory Alloy Pipe

著者名: 峯田 貴(山形県工業技術センター),芳賀 洋一(東北大学),江刺 正喜(東北大学)

著者名(英語): Takashi Mineta(Yamagata Research Institute of Technology),Youichi Haga(Touhoku University),Masayoshi Esashi(Touhoku University)

キーワード: 形状記憶合金|パイプ|アクチュエータ|非平面|フォトファブリケーション

要約(日本語): 能動カテーテル先端曲げ駆動用に、外径約0.5mm、肉厚約50mmの形状記憶合金(SMA)パイプを微細加工し、ジグザグばね型収縮アクチュエータを円筒面上に平行に3本配置したユニットを作製した。両端のリング部で相互に連結されており、1本毎にアクチュエータをカテーテルに装着する組み立て工程が不要となる。貫通加工時のダミーとなるSMAパイプ内壁への無電解銅めっき、パイプを120°回転して3回投影露光するレジストパターン形成、SMAパイプの貫通電解エッチングのプロセスにより、アクチュエータユニットを作製した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 768 Kバイト