真空中における磁気駆動型マイクロミラーの動作特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-165

グループ名: 【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集

発行日: 2002/03/26

タイトル(英語): Measurement of Motion Characteristics of a Magnetically Actuated Micromirror in Vaccum

著者名: 岡野 陽子(神奈川県産業技術総合研究所),平林 康男(神奈川県産業技術総合研究所)

著者名(英語): Yoko Okano(Kanagawa Industrial Technology Research Institute(br)),Yasuo Hirabayashi(Kanagawa Industrial Technology Research Institute(br))

キーワード: マイクロマシン|マイクロミラー|スキャナ|計測|真空

要約(日本語): 微妙なマイクロミラーの真の動作特性を把握するには、空気の抵抗を無視することができない。その為、真空中でのマイクロミラーの動作特性を測定する目的で計測装置を製作した。試作したマイクロミラーに対し、雰囲気圧力に対するQ値の変化と、低圧時の周波数特性を測定した。その結果、約350～670Paの低圧時には大気圧時と比較して、駆動用磁性膜の材質，マイクロミラーの梁幅によらず、10³Paからの急激なQ値の上昇と減衰比の低下、固有周波数の移動が見られた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 179 Kバイト