フォトリソグラフィによる光ファイバ端面上へのレンズ加工

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-167

グループ名: 【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集

発行日: 2002/03/26

タイトル(英語): Lens fabrication on optical fiber end using photolithography

著者名: 佐々木 実(東北大学),安藤 智一(東北大学),井上 和美(東北大学),羽根 一博(東北大学)

著者名(英語): Minoru Sasaki(Tohoku University),Tomokazu Ando(Tohoku University),Kazumi Inoue(Tohoku University),Kazuhiro Hane(Tohoku University)

キーワード: フォトリソグラフィ|レジストスプレーコーティング|光ファイバ端面|アライメントガイド|レンズ

要約(日本語): New photolithography techniques are developed for making the lens structure on the optical fiber end.One technique is for preparing the uniform resist film on the optical fiber end.The area of the fiber end is too small to apply the normal spin coating method.The surface tension of the resist strongly works for disturbing the film uniformity.The spray coating technique can prepare the thin uniform resist film reducing the effect of the surface tensoin.Another technique is for transferring the arbitrary pattern aligning to the fiber core.The mask including the arbitrary pattern and the alignment guide hole is prepared using the self-alignment method.These techniques are promising for making the microlens which improves the coupling efficiency between the laser diode and the fiber.The effect of the fabricated lens on the optical fiber is confirmed.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 266 Kバイト