水によるシリコン酸化膜の衝突帯電機構

カテゴリ: 全国大会

論文No: 4-190

グループ名: 【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集

発行日: 2002/03/26

タイトル(英語): Electrification Mechanism on SiO₂ Film by Collision of Water Jet

著者名: 早川 信吾(神奈川工科大学),下川 博文(神奈川工科大学)

著者名(英語): Shingo Hayakawa(Kanagawa Institute of Technology),Hirofumi Shimokawa(Kanagawa Institute of Technology)

キーワード: 衝突帯電|流動帯電|電荷緩和|シリコン酸化膜|噴流

要約(日本語): 前回の報告で酸化膜と水との電荷交換量は、衝突させる流速に強く依存し、酸化膜厚などには依存しないことがわかった。今回は電荷交換の機構を明らかにすることを目的としている。ウェハに水を衝突させ、ファラデーカップに水を回収しその電荷量を測定する方法を採り、衝突帯電はどの様な帯電機構が支配的であるかを特定する。衝突させる水の抵抗率を変化させた場合、回収電荷量が抵抗率に比例していることがわかった。抵抗率が低いほど、電荷の緩和量は多く、また、緩和した電荷分だけ回収電荷量は減る。すなわち抵抗率が大きいほど回収電荷量が大きくなるのである。この結果から、衝突帯電機構では流動帯電が支配的であると結論づけた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 130 Kバイト