共振振動抑制を考慮したモード切換え高速・高精度位置決め制御

カテゴリ: 全国大会

論文No: 4-196

グループ名: 【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集

発行日: 2002/03/26

タイトル(英語): Fast-Response and High-Precision Positioning Using Mode Switching Control

著者名: 永田 良(名古屋工業大学),伊藤 和晃(名古屋工業大学),岩崎 誠(名古屋工業大学),平井 洋武(名古屋工業大学),松井 信行(名古屋工業大学)

著者名(英語): Ryo Nagata(Nagoya Institute of Technology),Kazuaki Ito(Nagoya Institute of Technology),Makoto Iwasaki(Nagoya Institute of Technology),Hiromu Hirai(Nagoya Institute of Technology),Nobuyuki Matsui(Nagoya Institute of Technology)

キーワード: 高速・高精度位置決め|振動抑制制御|モード切換え制御|2自由度制御

要約(日本語): 半導体製造装置や工作機械に用いられる位置決め制御系では, 機械の低剛性により生ずる共振振動や負荷パラメータの変動などが位置決め制御特性の劣化の原因となる。本研究では, 共振振動に対する十分な制振性と負荷パラメータの変動に対するロバスト安定性を具備した位置決め制御系の構築を目指して, 速度制御系に既約分解表現に基づく2自由度制御器を, 位置制御系にはコントローラ構造を目標値近傍で切換えるモード切換え制御を適用することにより, 所望の位置決め仕様を満たす制御系を実現する。本手法の有効性は, 供試2慣性システムを用いた実験により検証される。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 238 Kバイト