超重量を駆動する超磁歪アクチュエータにおけるオングストロームオーダ位置決め機構

カテゴリ: 全国大会

論文No: 4-203

グループ名: 【全国大会】平成14年電気学会全国大会論文集

発行日: 2002/03/26

タイトル(英語): Angstrom Order Positioning System Using the Giant Magnetostriction Actuator Driving the Ultra Payloads

著者名: 小菅 昌宏(茨城大学),木村 孝之(茨城大学),白木 広光(茨城大学)

著者名(英語): Masahiro Kosuge(Ibaraki University),Takayuki Kimura(Ibaraki University),Hiromitu Shiraki(Ibaraki University)

キーワード: 超磁歪アクチュエータ|超重量|オングストロームオーダ位置決め機構

要約(日本語): 本研究は搭載荷重数トンの超重量物をオングストロームオーダーで制御する超精密位置決めシステムを開発することを目的としている。本開発システムは高出力、高速応答性、大変位特性を本質的な特徴とする超磁歪アクチュエータ並びに摩擦系を排除した弾性変位テーブルを用いて高精度の位置決めを目指している。ここにおいて本制御系は、超磁歪アクチュエータの磁気ヒステリシス現象の補償を閉ループ積分制御により実現している。さらにシステム内に侵入する電磁気的なノイズの抑制を図り、トータルシステムとしてオングストロームオーダーの高精度の位置決めを達成している。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 267 Kバイト