複合放電方式オゾン発生器におけるオゾン生成特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-019

グループ名: 【全国大会】平成15年電気学会全国大会論文集

発行日: 2003/03/17

タイトル(英語): Characteristics of Ozone Generation using a Combined Discharge Method

著者名: 紀井 法道(佐賀大学),林 信哉(佐賀大学),猪原哲 (佐賀大学),佐藤三郎 (佐賀大学),山部 長兵衛(佐賀大学),吐合 一徳(安川電機)

著者名(英語): Norimichi Kii(Saga University),Nobuya Hayashi(Saga University),Satoshi Ihara(Saga University),Saburoh Satoh(Saga University),Chobei Yamabe(Saga University),Kazunori Hakiai(Yasukawa Electric Corporation)

キーワード: オゾン|複合放電|沿面放電電極

要約(日本語): 近年オゾンは、半導体製造分野における基板洗浄用としてだけでなく、絶縁酸化膜（SiO2）の製作にも用いられており、新しい応用分野の広がりを見せている。それに伴い、オゾン生成効率の向上、オゾナイザの小型化などに対する要求が高まってきている。本研究では、無声放電と沿面放電を同一空間内で同時に発生させる複合放電方式を用いることにより、オゾナイザの高効率化を図ることを目的とする。今回はストライプ状である沿面放電電極の構造に着目し、電極の本数を変えたときのオゾン生成特性を調べた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 900 Kバイト