低圧力放電場における出現質量分析法によるラジカル濃度の空間分布測定

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-036

グループ名: 【全国大会】平成15年電気学会全国大会論文集

発行日: 2003/03/17

タイトル(英語): Radical Spatial Distribution Measurement by Appearance Mass Spectrometry at Low Pressure Discharge Field

著者名: 漆畑 正太(豊橋技術科学大学),伊藤衡平 (豊橋技術科学大学),恩田 和夫(豊橋技術科学大学)

著者名(英語): Shota Urushibata(Toyohashi University of Technology),Ito Kohei(Toyohashi University of Technology),Kazuo Onda(Toyohashi University of Technology)

キーワード: 放電|ラジカル|出現質量分析法

要約(日本語): 様々な放電プラズマ応用が提案され、研究・開発、実用化が展開されている。放電プラズマの利用を進めるためラジカル挙動を正確に把握する必要がある。我々は1Torr程度の低圧力場において、平行平板電極に直流電圧を印加し、ラジカル吸引プローブを電極間、及びガス流れ方向に移動し、OH等のラジカル濃度の空間分布を測定した。電極近傍や、ガス流れの下流域において、高濃度となる分布が得られたので報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 797 Kバイト