CHF3/Ar混合気体中の電子輸送係数の測定

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-087

グループ名: 【全国大会】平成15年電気学会全国大会論文集

発行日: 2003/03/17

タイトル(英語): Measurements of Electron Transport Coefficients in CHF₃/Ar Mixture

著者名: 三谷 正宏(慶應義塾大学),中村 義春(慶應義塾大学)

著者名(英語): Masahiro Mitani(Keio University),Yoshiharu Nakamura(Keio University)

キーワード: CHF3|電子衝突断面積|スオーム法|電子ドリフト速度|縦方向拡散係数

要約(日本語): 半導体製作過程のプラズマエッチングに用いられるCHF₃の電子衝突断面積を、電子スオーム法を用いて決定する事を目的として、5.23%CHF₃/Ar混合気体中のドリフト速度と縦方向拡散係数を0.6Tdから50TdのE/N範囲で測定した。測定結果は、純粋CHF₃中の電子輸送係数の測定結果と大きく異なるE/N依存性を示した。これは、輸送係数がCHF₃の運動量移行断面積の影響をあまり受けずに、主にArの運動量移行断面積とCHF₃の振動励起断面積にのみ依存するためと考えられる。この結果より、独立の推定が困難であり、未だデータの不足しているCHF₃の振動励起断面積に関する検討を加えることが可能となった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 871 Kバイト