表面波プラズマにおける静電波およびプラズマパラメータの密度勾配依存性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-118

グループ名: 【全国大会】平成15年電気学会全国大会論文集

発行日: 2003/03/17

タイトル(英語): Dependence of electrostatic waves and plasma parameters on the density gradient in surface wave plasmas

著者名: 王丸 拓郎(東京理科大学),小見山 文行(東京理科大学),卜部 友二(東京理科大学),小越 澄雄(東京理科大学)

著者名(英語): Takurou Ohmaru(Tokyo University of Sience),Fumiyuki Komiyama(Tokyo University of Sience),Yuuji Urabe(Tokyo University of Sience),Sumio Kogoshi(Tokyo University of Sience)

キーワード: 表面波プラズマ|静電波|PIC-MCCシミュレーション

要約(日本語): 液晶、太陽電池、LSI（大規模乗積回路）などの先端デバイスの作製にはプラズマプロセスが重要な基盤技術として用いられている。その中で表面波プラズマ装置は将来的に有力な装置として注目されている。表面波により励起された静電波の振幅、波長はそこでの密度勾配に依存し、これらは高温電子の生成に影響すると考えられている。また、高温電子が電離を主として行っているのでピーク密度にも密度勾配は影響を与えると考えられる。そこで、我々は遮断密度近辺での密度勾配が静電波およびプラズマパラメータに及ぼす影響についてPIC-MCC（Particle In Cell-Monte Carlo Collision）シミュレーションを用いて研究を行った。表面波プラズマにおける密度勾配と励起された静電波及びプラズマパラメータの関係についてPIC-MCCシミュレーションにより調べた結果について報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 729 Kバイト