正方形型表面波プラズマ装置の数値解析

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-119

グループ名: 【全国大会】平成15年電気学会全国大会論文集

発行日: 2003/03/17

タイトル(英語): Numerical analysis of square surface wave plasma equipment

著者名: 床井博洋 (東京理科大学),小越 澄雄(東京理科大学),鈴木 正康(島津製作所),猿渡 哲也(島津製作所)

著者名(英語): Hirooki Tokoi(Tokyo University of Science),Sumio Kogoshi(Tokyo University of Science),Masayasu Suzuki(Shimadzu Corporation),Tetsuya Saruwatari(Shimadzu Corporation)

キーワード: 表面波プラズマ|FDTD法|モジュール型

要約(日本語): 半導体製造には低圧力で高密度、大面積均一なプラズマ源が求められる。その一つとしてマイクロ波を用いた表面波プラズマが注目されている。本研究では、現在、島津製作所によって開発中の表面波プラズマ装置を対象として、数値解析を行い放電特性の向上を目指した。この装置はモジュール型表面波プラズマ装置で、組み合わせることにより大面積プラズマ生成が可能な装置である。FDTD法を用いた数値解析により、マイクロ波伝播方向に平行なスロットアンテナのみを用いた方が電界強度、電界の一様性、吸収エネルギーなどの点で有効であることが分かった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,594 Kバイト