オゾナイザ用マイクロホローカソードプラズマの分光計測

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-122

グループ名: 【全国大会】平成15年電気学会全国大会論文集

発行日: 2003/03/17

タイトル(英語): Spectroscopic study on micro-hollow cathode discharges for ozone generators

著者名: 白井 直機(東京工業大学),渡辺 英聡(東京工業大学),安岡 康一(東京工業大学),石井 彰三(東京工業大学)

著者名(英語): Naoki Shirai(Tokyo Institute of Technology),Hideaki Watanabe(Tokyo Institute of Technology),Koichi Yasuoka(Tokyo Institute of Technology),Shozo Ishii(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: マイクロホローカソード放電|分光測定|電子温度|回転温度|オゾナイザ

要約(日本語): 著者らは、半導体製造プロセスにも適用できる新たなオゾン生成方式として、直流駆動マイクロプラズマを用いた超小型オゾナイザの開発を進めている。本方式の特徴は、高速ガス流中でマイクロプラズマを発生させることで、酸素分子の解離とオゾン生成とを空間的に分離し、放電中の電子衝突によるオゾン分解反応を抑制することである。そこで，上記オゾン生成過程を実験的に確認するため、直径数100ミクロン前後のカソード穴内に生成されるプラズマを分光計測して、マイクロプラズマの電子温度、ガス温度、オゾン濃度分布等を調べた。その結果、電子温度は10eV以上、回転温度は使用したガスが純窒素で2000K前後という結果が得られた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 725 Kバイト