白金細線を用いたプラズマ中酸素原子密度の測定

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-123

グループ名: 【全国大会】平成15年電気学会全国大会論文集

発行日: 2003/03/17

タイトル(英語): O radical density measurement in weakly ionised plasma using Pt thin wire

著者名: 原木 信之(武蔵工業大学),小野 茂(武蔵工業大学),堤井信力 (武蔵工業大学)

著者名(英語): Nobuyuki Haraki(Musashi Institute of Technology),Shigeru Ono(Musashi Institute of Technology),Shinriki Teii(Musashi Institute of Technology)

キーワード: 酸素|ラジカル|白金|温度|プラズマ

要約(日本語): 白金細線を用いた酸素ラジカル計測法について研究を行っている。酸素ラジカルを含むプラズマ中で起こる白金プローブの赤熱現象を利用して、今までに白金細線が赤熱現象を起こすような高酸素ラジカル密度の範囲での酸素ラジカル密度の計測が可能になっている。しかしながら高酸素ラジカル密度時には白金線は自己加熱を起こし、それによりラジカル密度が導出できるが、ラジカル密度が低くなる場合にはこの現象が起こらなくなり、ラジカル密度の導出も困難となる。今回は、白金表面での酸素原子の表面再結合が容易に起こるような温度にまで白金細線を加熱することで、今まで行ってきたラジカル密度の計測に幅を持たせることが出来るようになった。その結果、従来測定できていたO原子密度の約1桁低い密度においても測定が可能となったので報告する.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 941 Kバイト