作動ガスに対するマイクロ波プラズマ源の特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-131

グループ名: 【全国大会】平成15年電気学会全国大会論文集

発行日: 2003/03/17

タイトル(英語): Characteristic of Microwave Discharge Plasma Source on Operating Gases

著者名: 林 寛(九州工業大学),趙孟佑 (九州工業大学),國中 均(文部科学省宇宙科学研究所)

著者名(英語): Hiroshi Hayashi(Kyushu Institute of Technology),Mengu Cho(Kyushu Institute of Technology),Hitoshi Kuninaka(The Institute of Space and Astronautical Science)

キーワード: マイクロ波放電式プラズマ源|キセノンプラズマ|アルゴンプラズマ|酸素プラズマ|シングルプローブ診断|イオンエンジン用中和器

要約(日本語): 宇宙プラズマ環境模擬のためのマイクロ波放電式プラズマ源を用いて、作動ガスがプラズマ源の動作特性と生成プラズマ特性に与える影響を検討する為、キセノン、アルゴン、酸素を作動ガスとして抽出電極を用いた場合のプラズマ源の抽出電子電流?電圧特性と電子抽出時及び後方拡散時のシングルプローブによる下流プラズマの診断を行った。それらの結果を比較評価する事により、作動ガス種によるプラズマ源の動作特性、各作動ガスに相応しい動作方式について検討した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 205 Kバイト