微粒子を用いたマイクロプラズマの生成

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-133

グループ名: 【全国大会】平成15年電気学会全国大会論文集

発行日: 2003/03/17

タイトル(英語): The production of microplasma from single metal powder

著者名: 高野 和也(東京工業大学),横山 拓馬(東京工業大学),天野 孝浩(東京工業大学),井深 真治(東京工業大学),安岡 康一(東京工業大学),石井 彰三(東京工業大学)

著者名(英語): Takano Kazuya(Tokyo Institute of Technology),Yokoyama Takuma(Tokyo Institute of Technology),Amano Takahiro(Tokyo Institute of Technology),Ibuka Shinji(Tokyo Institute of Technology),Yasuoka Koichi(Tokyo Institute of Technology),Ishii Shozo(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: マイクロプラズマ|微粒子|銅

要約(日本語): 近年，PDPやMEMSをはじめとする応用を目的として，必要な場所に必要な大きさのプラズマを生成するマイクロプラズマが注目を集めている。マイクロプラズマには様々な生成法があり，その特性についての研究が進められている。本研究では，直径100μmの銅紛体微粒子1つからマイクロプラズマを生成する新しい方法を提案する。微粒子は材質が銅で直径約100μmの球状紛体を使用した。球状紛は，真球状の形状をしているため流動性に富み，また粒径の均一性も良いという特徴を持つ。それを用いて2種類の形式で放電を行い，その基礎的な特性についてオシロスコープによる電圧・電流測定とCCDカメラによる光学的観測を行った。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 793 Kバイト