高粒子束水素・ヘリウム混合プラズマ照射によるグラファイト表面構造変化と微粒子形成

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-136

グループ名: 【全国大会】平成15年電気学会全国大会論文集

発行日: 2003/03/17

タイトル(英語): Structural Modification of Graphite Surface Irradiated by High Flux H2 and He Plasma and Dust Formation

著者名: 小林靖人 (名古屋大学),萩野喜晴 (名古屋大学),大野哲靖 (名古屋大学),高村秀一 (名古屋大学)

キーワード: 水素プラズマ|ヘリウムプラズマ|グラファイト|微粒子

要約(日本語): 直線型ダイバータ・プラズマ模擬実験装置NAGDIS-〓を用いてH2,He混合および純Heプラズマを生成する。装置端に試料であるグラファイト(IG-430U,等方性黒鉛)を取り付けた水冷式ターゲットを挿入し、それが電気的に浮遊している状態で照射実験を行う。また装置下流側底部に直径50mm,高さ6.0mmのシャーレを1行に10個を3行にわたって計30個乗せたステンレス製のプレートを配置して微粒子の採取を試みる。装置下流側の観測窓から放射温度計(ε=1.0)を配置しプラズマ照射時における試料表面温度を15分間隔で測定する。また走査電子顕微鏡(SEM)を用いてプラズマ照射前後における試料表面の観察を行う。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 750 Kバイト