大気圧プラズマ生成用マイクロパルスパワー電源

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-142

グループ名: 【全国大会】平成15年電気学会全国大会論文集

発行日: 2003/03/17

タイトル(英語): Development of Micro-Pulsed Power Source for Atmospheric Plasma Generetion

著者名: 山崎 正典(東京工業大学),青木 喬(東京工業大学),田村 幸彦(東京工業大学),安岡 康一(東京工業大学),石井 彰三(東京工業大学)

著者名(英語): Masanori Yamazaki(Tokyo Institute of Technology),Takashi Aoki(Tokyo Institute of Technology),Yukihiko Tamura(Tokyo Institute of Technology),Koichi Yasuoka(Tokyo Institute of Technology),Shozo Ishii(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: パルスパワー|大気圧プラズマ|電源

要約(日本語): 大気圧プラズマを発生させる手段としてマイクロプラズマが注目されており，短波長光源や赤外パルスレーザーへの応用が期待されている。特にパルス動作の応用例には，放電部と同様にマイクロサイズの超高速パルスパワー電源が必要であると考えられる。本研究では，大型半導体パワーデバイスのウェハから基本単位数個を切り出した素子を利用した小型パルスパワー電源を製作し，微小放電空間への高速高密度のパルス電力供給を可能にし，さらに大気圧プラズマの生成を行うことを目的とする。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 684 Kバイト