粉体を用いたプラズマの分光計測による電極形状の検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-146

グループ名: 【全国大会】平成15年電気学会全国大会論文集

発行日: 2003/03/17

タイトル(英語): Spectroscopic measurement of plasma created from the powder

著者名: 横山 拓馬(東京工業大学),高野 和也(東京工業大学),天野 孝浩(東京工業大学),井深 真治(東京工業大学),安岡 康一(東京工業大学),石井 彰三(東京工業大学)

著者名(英語): Takuma Yokoyama(Tokyo Institute of Technology),Kazuya Takano(Tokyo Institute of Technology),Takahiro Amano(Tokyo Institute of Technology),Shinji Ibuka(Tokyo Institute of Technology),Kouichi Yasuoka(Tokyo Institute of Technology),Syouzou Ishii(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: 粉体|プラズマ|真空スパーク|分光計測|シュリーレン

要約(日本語): 粉体を媒質として用いるプラズマ生成は，従来の気体を用いる場合に比べ優位な点を有する。粉体は流動性をもつが拡散しにくいため，媒質の初期位置や体積の制御を容易に行うことができ，超微粒子や薄膜の形成や大強度パルス軟X線源への応用が期待される。最近注目されているマイクロプラズマの新しい生成法としても検討している。真空中で電極間に粉体を分布させてパルス大電流放電を行うことにより生成を行ってきたが，陽極の蒸発が顕著におこり真空スパークと類似した現象がみられた。陽極の蒸発を抑制するため，陽極形状を従来の平板から円錐，貫通穴を設けた円錐形状にかえた結果を報告する。測定はシュリーレン法による観測を中心に行った。

原稿種別: 日本語

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