レーザ光熱ベンディング法による微細曲げ加工-バイモルフ材料に与える熱的影響-

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-203

グループ名: 【全国大会】平成15年電気学会全国大会論文集

発行日: 2003/03/17

タイトル(英語): Processing of Minuteness Bending by Laser Bending Method-Thermal Influence of Bimorph Material -

著者名: 大坂 智子(日本大学),関 謙太朗(日本大学),鈴木 薫(日本大学)

著者名(英語): Tomoko Osaka(College of science and technology Nihon University),Kentaro Seki(College of science and technology Nihon University),Kaoru Suzuki(College of science and technology Nihon University)

キーワード: ベンディング法|バイモルフ|曲げ加工

要約(日本語): マイクロマシニング技術において大量生産用金型としてマスクパターンによる大量生産が主流になっているが、これらでは加工できない材質等の任意の変形加工や自在に加工する技術の一つとしてレーザの熱を利用して局所的に変形を加えるレーザ光熱ベンディング法に着目した。本稿では、半導体レーザをバイモルフ状の試料に照射した際の諸特性について報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 866 Kバイト