自己結合型微小振動センサに関する研究

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-208

グループ名: 【全国大会】平成15年電気学会全国大会論文集

発行日: 2003/03/17

タイトル(英語): Study on Self-Coupled Small Vibration Sensor

著者名: 川出寿彦 (愛知工業大学),津田 紀生(愛知工業大学),山田 諄(愛知工業大学)

著者名(英語): Toshihiko Kawaide(Aichi Insitute of Technology),Norio Tsuda(Aichi Insitute of Technology),Jun Yamada(Aichi Insitute of Technology)

キーワード: 半導体レーザ|微小振動|自己結合効果

要約(日本語): 近年、工場におけるシステムの小型、精密化に伴い半導体素子の集積化も進み、より精密性が求められてきており、半波長以下の微小振動を検出する必要性が高まってきた。本実験において、我々は半導体レーザの自己結合効果により半波長以下の微小振動を検出し、また、基準信号と振動を同時に観測することにより誤差の軽減目的とした。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 781 Kバイト