低アウトガスＰＶＣ電線・ケ-ブル

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-034

グループ名: 【全国大会】平成15年電気学会全国大会論文集

発行日: 2003/03/17

タイトル(英語): Outgas-Free PVC Cable

著者名: 木村 ヒトシ(日立電線),渡辺 清(日立電線),石橋 達司(日立電線)

著者名(英語): Hitoshi Kimura(Hitachi Cable,Ltd.),Kiyoshi Watanabe(Hitachi Cable,Ltd.),Tatsuji Ishibashi(Hitachi Cable,Ltd.)

キーワード: アウトガス|クリ?ンル?ム|電線|ケ?ブル|ガスクロマトグラフィ?|ポリ塩化ビニル

要約(日本語): 近年、クリ?ンル?ム内において、各種電気機器部品から発生する分子状汚染物質（アウトガス）が半導体ウェハ?に付着し障害を発生させることが指摘されている。このアウトガスは、特に従来のＰＶＣに含まれている可塑剤に起因することから、弊社では揮発性の少ない材料を検討し、今回、アウトガスを大幅に低減したＰＶＣ電線・ケ?ブルを開発したので紹介する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 662 Kバイト