高分解能PIPWP空間電荷分布測定装置の開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-066

グループ名: 【全国大会】平成15年電気学会全国大会論文集

発行日: 2003/03/17

タイトル(英語): Development of Very High Resolution Space Charge Measurement Equipment using PIPWP Method

著者名: 矢島 裕之(武蔵工業大学),今井 悟史(武蔵工業大学),田中 康寛(武蔵工業大学),高田 達雄(武蔵工業大学),深尾 正(武蔵工業大学),前野 恭(通信総合研究所)

著者名(英語): Hiroyuki Yajima(Musashi Institute of Technology),Satoshi Imai(Musashi Institute of Technology),Yasuhiro Tanaka(Musashi Institute of Technology),Tatsuo Takada(Musashi Institute of Technology),Tadashi Fukao(Musashi Institute of Technology),Takashi Maeno(Communication Research Laboratory)

キーワード: 空間電荷|圧電素子誘起圧力波

要約(日本語): ビルドアップ市場はますます加速するプリント配線板の高密度化に伴って、毎年高い成長率を示している。超高密度プリント配線基板の現在の絶縁層は最薄30mm前後の厚さであるが、今後さらに絶縁層の薄膜化が進むものと思われる。しかし絶縁層の厚さに反比例して印加される電界は高電界化し、絶縁体内部に空間電荷と呼ばれる電荷が蓄積してしまい、絶縁破壊や沿面放電などによる故障が生じてしまう可能性がある。そのため、数十mmの薄い絶縁材料において空間電荷を測定し、絶縁体の特性を調査する必要がある。薄い絶縁体内部の空間電荷分布を測定するには、測定装置の高分解能化が必要であり、本研究ではPIPWP法における高位置分解能測定装置の開発を行ったので報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 815 Kバイト