負パルスバイアスイオンビーム蒸着法によるp-DLC/n-Si太陽電池の創製

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-138

グループ名: 【全国大会】平成15年電気学会全国大会論文集

発行日: 2003/03/17

タイトル(英語): The invention of p-DLC/n-Si solar cell by the negative pulse
bias ion beam vacuum evaporation method

著者名: 井田 秀彦(日本大学),二階 大介(日本大学),中森 秀樹(ナノテック),鈴木 薫(日本大学)

著者名(英語): Hidehiko Ida(Nihon University),Daisuke Nikai(Nihon University),Hideki Nakamori(Nanotec Corporation),Kaoru Suzuki(Nihon University)

キーワード: 負パルスバイアス|太陽電池|DLC|ボロン

要約(日本語): 近年、地球規模の環境破壊が進んでおりこの原因の1つに化石燃料の大量消費が挙げられる。この解決策のとして、クリーンかつ半永久的である太陽エネルギーの利用が期待されている。そこで、我々はDLC（Diamond-Like Carbon）のアモルファス半導体特性に着目し、負パルスバイアスイオンビーム蒸着法により太陽電池を作製することを試みた。今回は、P型DLC太陽電池を作製するにあたって原料ガスにベンゼン：(C６H６)、ドープガスとしてトリメチルボロン：（(CH３)３B）を使用した。成膜を行い、膜質評価をする。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 639 Kバイト