硫酸鉛結晶薄膜の作製と感湿特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-144

グループ名: 【全国大会】平成15年電気学会全国大会論文集

発行日: 2003/03/17

タイトル(英語): Epitaxy of Lead Sulfate Oxide Thin Films and Its Humidity-Sensitive Characteristics

著者名: 佐々木 孝明(関東学院大学),平松 友康(関東学院大学),菅 禎彦(関東学院大学),金子 文隆(湘南工科大学),難波 典之(関東学院大学)

著者名(英語): Takaaki Sasaki(Kanto-Gakuin University),Tomoyasu Hiramatsu(Kanto-Gakuin University),Yosihiko Suga(Kanto-Gakuin University),Fumitaka Kaneko(Shonan Institute of Technology),Noriyuki Nanba(Kanto-Gakuin University)

キーワード: 硫酸鉛|感湿特性|母体制御型|親水性|疎水性

要約(日本語): 電子ビーム蒸着法を用いて作製した硫酸鉛薄膜は、バルクと同様に感湿性をもち、更に湿度センサにおいて重要な要素の一つである感湿レスポンスにも良好な結果を示すことが報告されている。しかし、作製した硫酸鉛薄膜が、母体制御型の感湿機構を持つということは明らかにされていない。そこで、作製した薄膜が母体制御型の感湿機構を持ち、疎水性及び親水性の性質を持つということを裏付ける結果が得られたので、ここに報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 881 Kバイト