パルスレーザ蒸着を用いたNdFeB磁石膜の磁気特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-151

グループ名: 【全国大会】平成15年電気学会全国大会論文集

発行日: 2003/03/17

タイトル(英語): Magnetic properties of Nd-Fe-B magnet films prepared by pulsed laser deposition

著者名: 加藤龍太郎 (長崎大学),中野 正基(長崎大学),福永 博俊(長崎大学),堤 慎一(松下電器産業),山下 文敏(松下電器産業)

著者名(英語): Ryutaro Kato(Nagasaki University),Masaki Nakano(Nagasaki University),Hirotoshi Fukunaga(Nagasaki University),Shinichi Tsutsumi(Matsushita Electric Industrial Co.),Fumitoshi Yamashita(Matsushita Electric Industrial Co.)

キーワード: PLD法|NdFeB磁石|厚膜磁石|小型モータ|エキシマレーザ|YAGレーザ

要約(日本語): 近年、電子機器の小型化やマイクロマシンの研究開発が進められ、数十μｍ程度の厚みを有する厚膜磁石の必要性が高まっている。筆者らは、PLD(pulsed laser deposition)法を用い保磁力1000ｋA/mを超える数十μｍ厚NdFeB系磁石膜の作製について報告してきた。本稿では、諸条件を変化させ作製したNdFeB膜の基礎的な特性および再現性を評価すると共に、本磁石膜の小型モータへの応用を鑑み、鉄基板上へ成膜した試料の磁気特性も同時に評価したので報告する。加えて、YAGレーザを用いたNdFeB系磁石膜の作製についても検討したので併せて報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,227 Kバイト