傾斜磁区による高周波キャリア型磁界センサの高感度化とインピーダンス特性のヒステリシス

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-103

グループ名: 【全国大会】平成15年電気学会全国大会論文集

発行日: 2003/03/17

タイトル(英語): Improvement of Sensitivity with Inclined Magnetic Domain for HFC-type Magnetic Field Sensor and Impedance Hysteresis

著者名: 中居倫夫 (宮城県産業技術総合センター),阿部宏之 (宮城県産業技術総合センター),薮上信 (東北大学),山口正洋 (東北大学),荒井賢一 (東北大学)

キーワード: 高周波キャリア型磁界センサ|薄膜|傾斜磁区|高周波|感度|ヒステリシス

要約(日本語): 薄膜プロセスで作製した素子幅50μm以下の高周波キャリア型磁界センサに、薄膜面内方向に角度制御した傾斜磁区を形成する方法と、本手法によるセンサ高感度化について報告する。報告は、はじめに、矩形状にパターニングされた薄膜磁性体に磁界中熱処理で磁気異方性を誘起する際に、反磁界に起因する磁界ベクトルの屈折を利用し、面内幅方向から傾いた磁化容易軸の角度制御方法を提案する。次に、傾斜した磁化容易軸に起因する傾斜磁壁の角度が磁界センサ感度向上に及ぼす効果を実験的に測定し、磁壁角度制御がセンサ感度向上に有効であることを明らかにした。さらに、ヒステリシス特性の発生による高感度化の限界も明らかにした。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 640 Kバイト