ダイヤモンドを用いた圧力センサの試作

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-105

グループ名: 【全国大会】平成15年電気学会全国大会論文集

発行日: 2003/03/17

タイトル(英語): Fabrication of Pressure Sensor using CVD Diamond

著者名: 縄稚 典生(広島県立西部工業技術センター),山本 晃(広島県立西部工業技術センター),筒本 隆博(広島県立西部工業技術センター)

著者名(英語): Norio Nawachi(Western Hiroshima Prefecture Industrial Research Institute),Akira Yamamoto(Western Hiroshima Prefecture Industrial Research Institute),Takahiro Tsutsumoto(Western Hiroshima Prefecture Industrial Research Institute)

キーワード: ダイヤモンド|マイクロマシニング

要約(日本語): ダイヤモンドを利用してマイクロマシニングによる構造体（簡易的な圧力センサ）の作製を試みた。基板にはシリコン基板を，またダイヤモンドの合成には，装置および生産コストが安価な熱フィラメントCVD法を用いた。ダイヤモンドのパターニングには，反応性イオンエッチングによる除去加工を試みたが，ある程度エッチングが進行するとエッチング速度が鈍り，完全に除去するまで至らなかったため，試作プロセスには，ノンドープダイヤモンド上にシリコン酸化膜をマスク材に用いる選択成長法を採用し，圧力センサを試作した。その特性を評価した結果，真空状態からリークしていくにつれ，出力が増大していくことが確認できた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 572 Kバイト