温度センサとマイクロヒータを集積した顕微鏡用温度制御システム

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-106

グループ名: 【全国大会】平成15年電気学会全国大会論文集

発行日: 2003/03/17

タイトル(英語): Temperature Control Device by Integrated micro-heater and micro-sensor for Under Microscope

著者名: 新田 英之(東京大学),竹内 昌治(東京大学),野地 博行(東京大学),藤田 博之(東京大学)

著者名(英語): Hideyuki Nitta(The University of Tokyo),Shoji Takeuchi(The University of Tokyo),Hiroyuki Noji(The University of Tokyo),Hiroyuki Fujita(The University of Tokyo)

キーワード: MEMS|顕微鏡観察下|マイクロ温度センサ|マイクロヒータ

要約(日本語): 顕微鏡観察下で短時間に温度を変化させるツールの需要は大変高い。一方、蛋白質一分子観測などの観測系においては、対物レンズとスライドガラスの間に油をはさむ観測法が一般的である。ここで、スライドガラス全体の温度を上げ下げする方法では応答速度が遅いだけでなく、油を介して対物レンズへ熱が伝達してしまい、レンズの熱膨張によりピントがずれてしまう。そこでMEMS技術を用い、マイクロヒータ・センサをガラスプレート上に集積したデバイスを作製した。局所的に熱量を加えることで、顕微鏡下で観察しながら短時間で温度を調節できる。このデバイスの特徴、特性、評価した結果を報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,409 Kバイト