ＳＯＩ基板を用いたダイオードサーミスタ付マイクロヒータの湿度センサへの応用

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-107

グループ名: 【全国大会】平成15年電気学会全国大会論文集

発行日: 2003/03/17

タイトル(英語): Application of a Micro-Air-Bridge Heater combined with a Diode-Thermistor to Absolute-Humidity Sensor

著者名: 藤原 茂美(東北学院大学),菊地 和也(東北学院大学),木村 光照(東北学院大学)

著者名(英語): Fujiwara Shigemi(Tohokugakuin University),Kikuti Kazuya(Tohokugakuin University),Kimura Mituteru(Tohokugakuin University)

キーワード: 湿度センサ|SOI|ヒータ|温度センサ|サーマルセンサ|ｐｎ接合

要約(日本語): 本研究では、シリコン(Si)のマイクロマシン技術を用いて、マイクロエアブリッジ上にSi拡散抵抗による面発熱マイクロヒータを形成すると共に、高感度pnダイオード温度センサを搭載した新しいタイプの可変感度な温度センサとこれを用いた絶対湿度センサを提案するもので、温度センサとして一個の薄膜のpn接合ダイオードを用いて、その順方向、逆方向の半固定バイアスにより、可変感度でサーミスタ的な極めて広範囲の絶対温度計測が可能で、極めて高感度で高速応答の温湿度センサが期待できる。ここでは、本研究提案のデバイスを試作し、pn接合ダイオードの温度依存性などの基本的特性を評価し、その絶対湿度センサへの応用について検討を行った。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,170 Kバイト