表面マイクロマシニングによってアレイ化した片持梁型水素ガスセンサ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-121

グループ名: 【全国大会】平成15年電気学会全国大会論文集

発行日: 2003/03/17

タイトル(英語): Surface micromachined Pd-coated-cantilever-type hydrogen gas sensor arrays

著者名: 奥山 澄雄(山形大学),高松 幸樹(山形大学),小刀稱淳 (山形大学),菊池 正竜(山形大学),奥山 克郎(山形大学),松下 浩一(山形大学)

著者名(英語): Sumio Okuyama(Yamagata University),Kohki Takamatsu(Yamagata University),Atsushi Kotone(Yamagata University),Seiryuu Kikuchi(Yamagata University),Katsuro Okuyama(Yamagata University),Koichi Matsushita(Yamagata University)

キーワード: 水素|ガス|センサー|片持梁|マイクロマシン|パラジウム

要約(日本語): 片持梁型水素ガスセンサーをマイクロマシン技術によって小型化・アレイ化することにより，水素ガスの存在を視覚的に表示するデバイスを作成した．このデバイスはPdの水素吸蔵による変形を利用したもので，雰囲気中に水素が一度でも存在したかどうかを記憶し，その状態を保持し，更にその状態が目視確認可能であるという特徴をもっている．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 959 Kバイト