シリコン／セラミックス複合カンチレバーを用いたガスセンサーの試作

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-122

グループ名: 【全国大会】平成15年電気学会全国大会論文集

発行日: 2003/03/17

タイトル(英語): Trial fabrication of Gas Sensor using Silicon / Ceramics Hybrid Cantilever

著者名: 小林 利成(北陸先端科学技術大学院大学),若山 貴行(北陸先端科学技術大学院大学),岩田 展也(北陸先端科学技術大学院大学),山田 省二(北陸先端科学技術大学院大学),佐野 庸治(北陸先端科学技術大学院大学),松田 泰明(住金セラミックス,アンド,クオーツ),谷藤 望(住金セラミックス,アンド,クオーツ)

著者名(英語): Toshinari Kobayashi(Japan Advanced Institute of Science and Technology),Takayuki Wakayama(Japan Advanced Institute of Science and Technology),Nobuya Iwata(Japan Advanced Institute of Science and Technology),Syoji Yamada(Japan Advanced Institute of Science and Technology),Tsuneji Sano(Japan Advanced Institute of Science and Technology),Yasuaki Matsuda(Sumikin Ceramics and Quarts co.,ltd),Nizomi Tanifuji(Sumikin Ceramics and Quarts co.,ltd)

キーワード: ガスセンサー|シリコン／セラミックス複合カンチレバー|ゼオライト

要約(日本語): 薄膜の片持ち梁（薄膜カンチレバー）を用いて、ガスセンサーへの応用を試みたので報告する。今回はシリコン／セラミックス複合カンチレバー構造を用い、そのカンチレバー先端部にゼオライトを修飾した。ゼオライトが吸着するガスの重量変化に対して、カンチレバーは空気中でも速く、そして敏感な共振周波数の推移を示す。この特性を応用し、従来のガスセンサーより繊細で、正確なセンシングが期待できる。また、カンチレバーをマルチプローブ化する事により、数種類のガスを同時に検知できることや、従来のガスセンサーに比べ、小型化できるなどの利点も考えられる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 805 Kバイト