回路一体型ヘモグロビン量測定マイクロチップの製作

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-125

グループ名: 【全国大会】平成15年電気学会全国大会論文集

発行日: 2003/03/17

タイトル(英語): Fabrication of Microchip for Hemoglobin Measurement Integrated with Signal Processing Circuit

著者名: 野田俊彦 (豊橋技術科学大学),高尾英邦 (豊橋技術科学大学),足木光昭 (豊橋技術科学大学),衣斐寛之 (堀場製作所),澤田和明 (豊橋技術科学大学),石田誠 (豊橋技術科学大学)

キーワード: 血液分析|Micro-TAS|Lab-on-a-Chip|スマートセンサ|吸光光度測定|異方性エッチング

要約(日本語): 血液中のヘモグロビン量を測定するセンサと信号処理回路を一体化したチップを作製した。ヘモグロビン量の測定には吸光光度測定法を用いた。チップはGlass - Si - Siの3層構造であり、最下層のSiにフォトダイオード、MOS集積回路が形成されている。中間層のSiが流路になっており、異方性エッチングにより45度ミラーが形成されている。チップに対して垂直入射された光は45度ミラーによって反射され、チップ内の流路を水平方向に進み、フォトダイオードに到達する。流路内ではヘモグロビン量に応じた光吸収が起きるため、フォトダイオード出力を搭載回路で処理することで、ヘモグロビン量を求めることができる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 876 Kバイト