水熱合成法PZT薄膜を用いたプローブセンサの形状測定

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-141

グループ名: 【全国大会】平成15年電気学会全国大会論文集

発行日: 2003/03/17

タイトル(英語): Hydrothermally Deposited PZT Thin Film Vibration Probe Sensor

著者名: 佐々木美沙都 (東京工業大学),神田岳文 (岡山大学),黒澤実 (東京工業大学),樋口俊郎 (東京大学)

キーワード: 水熱合成法

要約(日本語): AFMなどのプローブ式顕微鏡では、低測定力で高分解能の表面形状測定が実現されている。しかし、AFMは測定速度が遅く、測定範囲が狭いという欠点がある。そこで、AFMに準ずる分解能を持ち、比較的低接触力で広範囲を高速に測定を実現するため、縦振動を利用した水熱合成法によるPZT薄膜の加振形接触センサの研究を行ってきた。測定対象として、溝が1μｍピッチで深さ100nmのガラスの回折格子を用いたところ、縦方向・横方向の両方に関して試料に準じた像を得ることが出来た。また、先端の先鋭化をはかるために近接場光学顕微鏡用のファイバープローブをプローブの先端の部分に取り付けて測定を行っている。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 876 Kバイト