高真空中におけるナノ対向針の電界放出特性とTEMによる可視化観測

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-142

グループ名: 【全国大会】平成15年電気学会全国大会論文集

発行日: 2003/03/17

タイトル(英語): Field Emission Characteristics of Opposing Nanoprobes in High Vacuum and TEM Observation

著者名: 野澤尚幸 (東京大学生産技術研究所),角嶋邦之 (東京大学生産技術研究所),橋口原 (香川大学),遠藤潤二 (科学技術振興事業団),藤田博之 (東京大学生産技術研究所)

キーワード: 電界放出|透過型電子顕微鏡|結晶異方性エッチング|ナノテクノロジー

要約(日本語): LOCOS及び結晶異方性エッチングを用いてナノレベルに先鋭化されたSi対向針を製作した。ウェットエッチングを用いることにより均一性、再現性に優れた構造が出来上がる。対向針間のギャップは1μm以下で、針先端の曲率半径は10nm以下である。この対向針を有するデバイスを真空下に配置し、両針間に電圧を印加すると電界放出現象により真空中に電子の流れが生じ、電流が流れる。この電流を測定し、対向針デバイスの電流電圧特性を求めた。また、この実験を高真空の透過型電子顕微鏡(TEM)内で行い、対向針先端の拡大観察を行った。このとき、電圧を印加すると200V近い高電圧にて電子が放出されるカソードが大きく変形するという現象を観察した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 729 Kバイト