ＭＥＭＳグレーティングカプラーによる光インターコネクション

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-144

グループ名: 【全国大会】平成15年電気学会全国大会論文集

発行日: 2003/03/17

タイトル(英語): Optical inter-connection by using MEMS grating coupler

著者名: 山地 徳一(京セラ),金森 義明(東北大学),佐々木 実(東北大学),羽根 一博(東北大学)

著者名(英語): Tokuichi Yamaji|Yoshiaki Kanamori|Minoru Sasaki|Kazuhiro Hane

キーワード: マイクロマシン|インターコネクション|グレーティングカプラー|光導波路

要約(日本語): 情報の高速化に伴い、ボード間の光接続、およびボード内での光接続、いわゆる光インターコネクションの必要性が高まっている。このなかで特に、チップ間光インターコネクションは、４５度ミラーによる方法、回折格子による基板裏面での反射による方法等が研究されている。しかしながら、これらの方法は、複数のチップ間のＯＮ?ＯＦＦ切り替えが難しい。今回、光導波路からの垂直方向への光の入出力に、グレーティングカプラーを用い、Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)技術と組み合わせ、切り替え可能な光取り出しの評価を行ったので報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 706 Kバイト