時間相関イメージセンサと回転偏光子を用いた実時間偏光映像法

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-147

グループ名: 【全国大会】平成15年電気学会全国大会論文集

発行日: 2003/03/17

タイトル(英語): Ellipsometric Imager Using Correlation Image Sensor and Rotating Polarizer

著者名: 清水 崇聡(東京大学),栗原 徹(東京大学),小野 順貴(東京大学),安藤 繁(東京大学)

著者名(英語): Takaaki Shimizu(The University of Tokyo),Toru Kurihara(The University of Tokyo),Nobutaka Ono(The University of Tokyo),Shigeru Ando(The University of Tokyo)

キーワード: 偏光|回転偏光子|時間相関イメージセンサ|エリプソメータ|ロックイン|CMOS

要約(日本語): 偏光状態を取得する代表的方法は消光法である。一種の零位法と見られ精度も安定性も高いが，従来のセンサでは高速化と二次元各点での独立測定は困難である。一方，実時間化と二次元化の目的には，回転偏光子とフーリエ解析の利用，光変調素子とロックインCCDの使用などの方法が提案されている。しかし，非常に多くの画像取得を必要とする，高価ながら高精度化が困難，などの理由により，いずれも実用可能な方法には至っていない。本研究では，1) 回転偏光子を用いた偏光状態の振幅位相変調，2) 三相時間相関イメージセンサを用いた相関検出と復調，を結合した入射光の偏光状態分布や偏光面依存の複素反射率分布の二次元実時間映像法を提案する。このシステムは，消光法の偏光符号化上の利点と，時間相関イメージセンサの実時間復調の利点により，実時間二次元かつ高精度安定な性質を両立可能と考えられる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,138 Kバイト